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　　說到真空泵的應用，太多了，因為真空泵的種類很多，廣泛應用于塑料機械、農藥化工、染料化工、磚瓦機械、低溫設備、造紙機械、醫藥化工、食品機械、工業電爐、電子工業、真空設備、石油化工、冶金、礦山和地基處理等。想知道各種真空泵的具體應用?請戳下方!

　　爪型干式真空泵

　　1概述

　　爪型干式真空泵利用連接在兩軸上的一對爪型轉子之間、轉子與泵腔內壁之間、轉子與隔板之間的間隙和無摩擦嚙合形成的封閉腔的容積變化來完成吸排氣過程。

　　2結構

　　爪型干式真空泵的結構一般采用多級轉子串聯的形式，或羅茨轉子與多級轉子串聯形成多級爪型干式真空泵。

　　四個泵室中的第一個泵室為吸入級，其吸入容積大于后三級，形成級間壓縮。

　　四對轉子安裝在兩根平行的軸上，由上下軸承支撐。泵室級之間有隔板，隔板上有吸入和排出通道。

　　電機倒置安裝，動力通過齒輪傳遞給轉子軸。轉子軸由一對同步正時齒輪驅動，轉子的相位被調整和固定。

　　轉子之間、轉子與泵腔之間有微小間隙，轉子懸浮在泵腔內，過流部分沒有實質性的接觸摩擦和潤滑，保證爪式泵能長期保持極限真空、抽速和壓縮比不變，使用壽命長。

　　3個特征

　　4應用

　　石化行業：

　　制藥行業：結晶、蒸餾、升華、干燥、脫臭、聚合、真空蒸發、負壓過濾、單體回收、吸附/解吸、物料輸送、腐蝕性介質、環氧乙烷消毒等。

　　工業：升華，干燥，脫水，真空蒸發，真空保鮮，真空包裝等。

　　研究機構：旋蒸、蒸餾、精餾、聚合、真空過濾、真空干燥、中試、風洞試驗、真空環境模擬等。

　　光伏：浸漬、真空鍍膜、離子刻蝕、分子束外延等。

　　航空航天：釬焊、真空鍍膜、電子束焊接、風洞試驗、空間環境模擬等。

　　冶金行業：浸漬、擠壓、真空鍍膜、離子刻蝕、泥漿脫氣、鋼水脫氣、分子束外延等。

　　核工業：零泄漏爪式泵可泵送UF6氣體。

　　其他行業：中央空調、室內真空、污水處理、鋰電池制造等。

　　水環真空泵

　　1基本類型和特征：

　　根據結構的不同，水泵可分為以下幾種類型：

　　與其他類型的機械真空泵相比，水泵具有以下優點：

　　2水環泵的缺點：

　　總的來說，水環泵由于具有等溫壓縮和用水密封的突出優點，可以抽出易燃、易爆和腐蝕性氣體，以及含有粉塵和水分的氣體，所以得到了廣泛的應用。

　　三環真空泵的應用

　　電力行業應用：凝汽器抽真空、真空吸水、煙氣脫硫、飛灰輸送、汽輪機密封管排氣、真空排氣、熱氣排放。

　　石化行業應用：氣體回收、氣體回收、氣體增壓、強化采油、氣體收集、原油穩定、原油減壓蒸餾、廢氣壓縮、蒸汽回收/氣體增壓、過濾/脫蠟、尾氣回收、聚酯生產、PVC生產、包裝、循環氣壓縮、變壓吸附(PSA)、生產、乙炔、氫氣等易燃易爆氣體的壓縮、原油減壓。

　　制造業中的應用：干燥(托盤、旋轉、翻轉、錐形和冷凍干燥機)、再生/反應器干燥、蒸餾、脫氣、結晶/蒸發、填充和/或材料轉移。

　　在制漿造紙生產中的應用：黑液蒸發、粗漿洗滌器、石灰渣和過濾器、沉淀物過濾器、真空脫水器、原料和白水脫氣系統、紙漿混合箱壓縮機、抽吸b

　　在儀器中的應用：蒸汽滅菌，呼吸器，空氣床墊，防護服，牙科器械，中央真空系統。

　　在環保行業的應用：廢水處理、沼氣壓縮、真空加水、廢水凈化/活性污泥池氧化、魚塘通風、垃圾氣體回收(沼氣)、沼氣回收(沼氣)、廢物處理器。

　　在食品和飲料工業中的應用：鮭魚清潔劑，礦泉水脫氣，色拉油和脂肪的脫臭，茶葉和調味品的殺菌，香腸和火腿的生產，煙草制品的加濕，真空蒸發器。

　　在包裝行業的應用：給包裝袋充氣填充貨物，抽氣開袋，運輸包裝材料和產品，用膠水貼標簽和包裝物品，真空機械手吊起紙箱，并進行組裝，真空包裝和MAP，PET容器生產，塑料顆粒干燥，塑料顆粒輸送，擠出機脫氣，注塑成型，注塑件脫模和處理，注塑件干燥等。

　　在木材加工工業中的應用：抓持和抓取、木材干燥、木材防腐、原木浸漬。

　　在海洋工業中的應用：冷凝器排氣、中央真空泵、船用低壓空氣壓縮機、渦輪密封管排氣。

　　在設施處理中的應用：干燥地板、水路管道的防腐保護、中央真空清潔系統。

　　冶金工業中的應用：鋼的脫氣。

　　在制糖工業中的應用：二氧化碳的制備，污物過濾，在蒸發器和真空吸盤中的應用。

　　4個選擇點

　　一、水環真空泵類型的確定

　　水真空泵的類型主要取決于被抽介質、所需氣體量、真空度或排氣壓力。

　　二、水環真空泵正常運行后應注意兩點：

　　1.所選真空泵的真空度應盡可能在高效率范圍內，即臨界所需真空度或臨界度。

　　所需排氣壓力的區域內運行，這樣才能保證真空泵能夠按照需要的條件和要求正常工作。應避免在真空泵最大真空度或最大排氣壓力范圍附近運行。

　　在這個區域內運行，不僅效率極低，而且工作很不穩定，容易使真空泵產生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區域之內運行，往往還會發生汽蝕現象，產生這種現象的明顯現象是真空泵內有噪音和振動。過大的汽蝕會導致泵體、葉輪等零部件的損壞，以致于真空泵無法正常工作。

　　由此可以看出，當真空泵所需的真空度或氣體壓力不高時，可以優先在單級泵中選取。如果對真空度或排氣壓力要求較高，單級泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦，可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上，可選用羅茨水環真空機組作為抽真空裝置。

　　2、根據系統所需要的抽氣量正確選擇真空泵

　　如果選定了真空泵或者真空機組的類型之后，還需要要根據系統所需的抽氣量來選用正確的型號。

　　各種型式的水環式真空泵，其特點如下：

　　干式螺桿真空泵

　　干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。

　　1特征

　　2應用

　　螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。

　　在核工業中用于核反應堆及核工業真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫藥工業中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。

　　應用范圍極為廣泛。具體如下：

　　具體應用：干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、油氣回收、工廠普通真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業領域 能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，尤其能滿足對獲得清潔真空要求較高的環境。具體應用：真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、拉單晶、特氣制造、離子刻蝕等。

　　紡織、冶金等行業 在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關工藝中應用干式真空泵， 具體應用：真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等。

　　一類是以半導體行業為代表，要求真空泵向被抽空間內的返流為零，以保護工件免受污染。對半導體行業中應用的真空系統的要求大體分為三個等級。

　　另一類是以石化行業為代表，要求真空泵能大量抽除可凝性氣體，或腐蝕性氣體，或有毒氣體，或含有微塵的氣體。螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。

　　在核工業中用于核反應堆及核工業真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫藥工業中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。

　　往復式真空泵

　　往復式真空泵(又稱活塞式真空泵),屬于低真空獲得設備之一，往復式真空泵通過連桿曲軸機構在曲軸箱內運動使活塞在氣缸中作往復運動，周期性地改變吸排氣腔的容積，并依靠吸排氣閥的作用完成吸排氣動作，從而獲得真空。

　　它的極限壓力一般在1330～2660P 往復式真空泵(簡稱往復泵)又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設備之一。它與旋片式真空泵相比較，它能被制成大抽速的泵;與水環式真空泵相比，效率稍高。這類泵的主要缺點是結構復雜，體積較大，運轉時振動較大等。其在很多場合可由液環式真空泵所取代。

　　往復式真空泵它的抽速范圍比較大，從50L/S到600L/S，適用于石油、化工、醫藥、食品、輕工、冶金、電氣等行業中的真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空蒸發、真空濃縮、真空結晶、真空干燥、真空過濾及混凝土的真空作業等方面的抽除氣體。

　　往復式真空泵不適用于抽除含氧過高的、有爆炸性的、對金屬有腐蝕性的、以及含有顆粒塵埃的氣體，也不適用于把氣體從一個容器輸送到另一個容器，作輸送泵用。往復式真空泵適用于抽送不含固體顆粒、無腐蝕性的氣體，這種真空泵的抽氣速率較大，真空度較高。故在化工廠中廣泛應用。但其結構復雜，維修量大。

　　W型往復式真空泵，是獲得粗真空的主要設備之一，它用于從密閉容器中或反應鍋中抽除真空或其它氣體，它不適用于抽除腐蝕性的氣體或者帶有硬顆粒灰粉的氣體。

　　1結構組成

　　W型往復式真空泵的結構由兩個主要部分組成。

　　2應用

　　w型往復式真空泵已被廣泛應用于各種工業部門，例如化工或食品工業中的真空蒸餾、蒸發、結晶、干燥和過濾，真空冶金工業中的除氣，電氣工業上的浸滲等。

　　不適用于抽除含氧過高的、有爆炸性的、對金屬有腐蝕性的、與泵油會起化學反應的以及含有顆粒塵埃的氣體，也不適用于把氣體從一個容器輸送到另一個容器，作輸送泵用。所以化工、制藥行業選型要謹慎。

　　3選型須知

　　往復式真空泵產品名稱與型號，往復式真空泵管道口徑，往復式真空泵使用揚程(m)，往復式真空泵電機功率(KW)，往復式真空泵電機轉速(r/min)，往復式真空泵電壓〔V〕，往復式真空泵使用的吸程(m)，往復式真空泵使用的介質名稱、比重、粘度、腐蝕性、毒性。

　　水噴射真空泵

　　1原理與用途

　　水噴射真空泵是一種具有抽真空、冷凝、排水等三種有效能的機械裝置。它是利用一定壓力的水流通過對稱均布成一定側斜度的噴出。

　　聚合在一個焦點上，由于噴射水流速度較高，于是周圍形成負壓使器室內產生真空、另外由于二次蒸汽與噴射水流直接接觸，進行熱交換，絕大部分的蒸汽凝結成水，少量未被冷凝的蒸汽與不凝結的氣體亦由于與高速噴射的水流互相摩擦，混合與擠壓，通過擴壓管被排除，使器室內形成更高的真空。

　　水力噴射器應用極為廣泛，主要用于真空與蒸發系統，進行真空抽水，真空蒸發、真空過濾、真空結晶、干燥、脫臭等工藝，是制糖、制藥、化工、食品、制鹽、味精、牛奶、發酵以及一些輕工、國防部門廣泛需求的設備。但目前生產水力噴射器的制造廠較小，品種亦不齊全。

　　采用多噴咀與汽環(導向盤)等結構。以及用多級泵進水，低位安裝，完善與提高了其工作性能，因此具有一定的先進性、是真空冷凝設備的一種革新。

　　2結構優點

　　水噴射真空泵由器體、器蓋、噴咀、噴咀座板、導向盤、擴壓管及單向閥等部件組成，噴咀用不銹鋼制造，噴咀座板由優質鋼加工，其余零件則系鑄鐵鑄造，噴咀 采用多噴咀的結構形式，以便得到較大的水-汽接觸面積，有利于熱交換的進行，獲得較好的真空效果。

　　噴咀座板加工精密，精度較高，以便噴射水流準確地聚集在同一的焦點。導向盤用于減慢蒸汽(或空氣)的流速，使蒸氣均勻地導入器室以免噴射水流偏斜，降低抽射效能。

　　水噴射真空泵整個裝置結構緊湊精密，強度亦較高，用于真空蒸發系統中，由于能把冷凝器的冷凝作用與與真空泵的抽氣作用合并在一個設備中同時 大大地簡化了工藝流程，比之原來用真空泵與舊式冷凝器的裝置，可以節省去真空 空泵、冷凝器、分水器等設備，并且還有下列優點：

　　3種類

　　噴射式泵屬于流體作用泵，是利用流體流動時能量轉化以達到輸送流的裝置。噴射泵的工作流體可以是水蒸氣、空氣、水和油等。噴射式真空泵又稱為射流真空泵，是利用噴嘴的高速射流來抽除容器中的氣體來獲得真空的，在化工生產上主要用作真空泵，在蒸發和蒸餾過程中廣泛使用。

　　噴射式泵的工作流體可以是蒸汽，也可以是水，還可以是其他液體或氣體。工作蒸汽在高壓下經噴嘴以很高的速度噴出，在噴射過程中，蒸汽的靜壓能轉變為動能，因而在吸入口處造成了一個低壓區，將所輸送的流體吸人。吸入的流體與蒸汽混合后進入擴大管，流速逐漸降低，壓強隨之升高，并從壓出口排出。

　　1.水蒸氣噴射泵

　　水蒸氣噴射泵的工作介質為水蒸氣，它是能直接對大氣排氣的一種射流真空泵。

　　其工作過程分為3個階段：

　　一是絕熱膨脹階段，即工作蒸汽通過噴嘴絕熱膨脹的過程，工作蒸汽將其壓力能轉化為速度能，并以很高的速度噴射出;

　　二是混合階段，即工作蒸汽與被抽氣體進行混合并使兩股氣流進行能量交換的過程，被抽氣流的速度得到增加，而工作蒸汽將攜帶著被抽氣體進到擴壓器中;

　　三是壓縮階段，工作蒸汽與被抽氣體一邊繼續進行能量交換.一邊逐漸被壓縮，使動能又轉化為位能，當到達擴壓器的喉部完成混合階段并使兩種氣流達到同一速度，此后再經過擴散，使速度降低和壓力進一步擴大，然后將被抽氣體排出噴射器，從而完成蒸汽噴射泵的工作過程。

　　2.空氣噴射泵

　　空氣噴射泵與水蒸氣噴射泵的工作原理相類似，但其工作介質則為壓縮空氣或常壓空氣。根據工作介質是高壓空氣還是常壓空氣，可將其分為一般空氣噴射泵和大氣噴射泵。

　　一般空氣噴射泵因工作介質的耗量很大，故必須配備容量大的空氣壓縮機;一般空氣噴射泵.大多數是以單級使用的。

　　大氣噴射泵通常以一級或二至三級串聯工作，并常安裝在水環真空泵的進VI而組成高真空機組，以提高水環真空泵的極限真空度和擴大工作壓力范圍。

　　3.水噴射真空泵

　　當真空度要求不太高時，可采用一定壓力的水作為工作介質的水噴射真空泵。水噴射的速度，通常為15～30m/s左右。它雖屬于粗真空裝置.但其具有產生真空和冷凝蒸汽的雙重作用，所以得到廣泛應用。水噴射真空泵的工作原理與蒸汽噴射泵相類似，其效率通常在30%以下。

　　4應用

　　噴射式真空泵結構簡單，制造容易，沒有運動部件，不易發生故障，維修工作量小。能輸高溫的、腐蝕性的以及含有固體顆粒的流體。但其效率較低，一般在25%～30%左右。在石油化工生產中，噴射泵不僅用來代替機械式真空泵，而且還廣泛用于混合器、冷卻器、吸收器等。

　　噴射泵是被廣泛應用于輸送，壓縮混合氣體和蒸汽、液體和固體的設備，氣體或液體常被作為動力介質。噴射泵用于產生真空是另一個非常重要的應用。

　　噴射泵適用于高溫、高壓、高真空領域，如真空蒸發、真空干燥、真空制冷、真空蒸餾，還可提升液、堿或含有磨料的懸浮液，也適用于強輻射的特殊環境。

　　噴射泵在產生真空方面的應用：

　　噴射真空泵應用于各種工業領域，如下是幾個重要的應用領域。

　　旋片式真空泵

　　旋片式真空泵是一種油封式機械真空泵，是真空技術中最基本的真空獲得設備之一。

　　旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。有單級旋片真空泵和雙級真空泵兩種。

　　1結構說明

　　旋片式真空泵是一種容積泵，它借助于旋片在泵腔中連續運轉將氣體吸入并壓縮，最后由排氣口排出。泵主要由定子、轉子、旋片等組成，轉子被偏心地裝入定子腔內。轉子槽中有兩塊旋片，旋片彈簧置于兩旋片之間。定子上的進、排氣口被轉子和旋片分離為兩部分。

　　當轉子在定子腔內旋轉時，旋片在彈簧張力與本身離心力的共同作用下其端部緊貼于泵腔內壁滑動，周期性地將進氣口側的腔內容積擴大而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口的容積，將已吸入的氣體壓縮，然后從排氣口排出從而達到抽氣的目的。

　　2特點及適用范圍

　　特點：

　　真空泵吸氣口安裝有金屬絲網的粗過濾器。能防止固體的外來塵粒吸入泵腔。油分離器內安裝有高效油氣分離效果的排氣過渡器。停泵時，內置于吸氣口的吸氣閥使泵與被抽系統隔離，防止油返入被抽系統。泵由空氣冷卻。XD旋片真空泵所有的泵均由直聯的電動機通過彈性聯軸器驅動。

　　適用范圍：

　　3應用

　　其工作壓強范圍為101325-1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫藥等生產和科研部門。旋片式真空泵是抽除氣體的基本設備之一，它可單獨使用，也可與增壓泵、擴散泵、分子泵等超高泵連接在一起作為前級泵使用。

　　4使用

　　啟動前先檢查水冷泵的冷卻水是否接通，當環境溫度較低時，可用手搬動皮帶輪，使泵腔內的油排入油箱。然后按動電機按鈕送電，注意電源方向是否接反，泵旋轉方向是否正確。

　　檢查真空泵油量是否在油標線附近;接通被抽系統閥門時不要開得太快，防止大量噴油;運轉中注意有無不正常的噪聲和沖擊聲，注意泵的油溫升高，有局部過熱時立即停泵，防止卡泵或磨損。停泵一定要從泵入口放大氣(一般購買的機組都有自動放閥);斷電后再斷水。

　　5性能特點

　　旋片真空泵是由旋片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵，當采用工作液來進行潤滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時，即為通常所稱的迅達真空泵的旋片真空泵，在性能上有如下特點：

　　6使用特點

　　抽氣速率： 4~100L/S (升/秒)

　　極限壓強： ≤6*10-2Pa (帕)

　　極限真空： ≤1.3Pa (帕)

　　氣體類型： 常溫無其它混合物的清潔干燥空氣，不許有含其它粉塵及水分的空氣。

　　工作要求： 進口壓強在大于6500Pa時連續工作時間，不得超過3分鐘以免噴油引起泵損。

　　工作要求： 進口壓強在小于1330pa的條件下，允許長時期連續工作。

　　環境溫度： 真空泵一般在不低于5℃的室溫及不高于90%的相對溫度的環境內使用。

　　滑閥式真空泵

　　1結構特點

　　滑閥式真空泵是工業領域常用的一種油封式真空泵。區別于其他油封式真空泵，它最大的特點是通過滑閥式轉子在泵浦內做機械運動，改變腔體容積來達到特定的抽氣母的。因此滑閥式真空泵也是一種容積式泵浦。與其他油封式真空泵一樣也可以抽取一般性氣體或含有少量可凝性氣體，在不同領域的真空應用也較為廣泛。

　　與一般旋片式真空泵一樣，滑閥式真空泵也有單級與雙極之分，當然根據它的結構特征還有立式和臥式兩種不同的結構形式。單級滑閥式真空泵極限真空值一般可以抽到0.4^-1.3Pa，雙級滑閥式真空泵的極限壓力可以抽到6 X 10-2 ---10-'Pa的范圍內。在實際工業應用中，超過一般抽速超出150L/S的工藝要求的，通常采用單級式滑閥真空泵。

　　由于結構上的特點，使得這種泵具有能夠長期在較高壓強和較差的抽氣條件下工作、使用壽命長等優點，在各個領域(例如真空冶煉、真空干燥、真空鍍膜、真空浸潰等其他真空作業領域)都得到了廣泛的應用。由于滑閥泵耐用、可靠，能在惡劣的抽氣環境下工作，因此它可以單.獨使用，也可作為其他真空泵的前級泵。

　　滑閥泵有單級H型、雙級2H型：滑閥式真空泵適用于抽吸空氣及其他一般性氣體，當使用氣鎮時，亦能抽吸含有掌上少量的可凝性氣體(如水蒸汽)。

　　當抽吸含氧過高的、有爆炸性的、對黑色金屬有腐蝕性的、對真空油起化學反應的氣體時，應該附加裝置。本型泵可單獨使用，也可作為擴散泵、油增壓泵、羅茨泵等高真空泵的前級泵，相對于旋片式真空泵，H型滑閥泵比較耐用，使用壽命長。該泵在真空鍍膜、真空熱處理、真空燒結、分子蒸餾、航空模擬試驗使用較多。

　　2特點

　　1)經過優化設計配重，振動少，噪聲低。

　　2)軸承密封室單獨供油，與泵腔隔開，避免了雜質進入軸承、密封過早損壞。

　　3)根據用戶要求，可附帶副油箱，達到冷卻真空油分離雜質的作用。

　　4)除老式H-150外，電機均置于泵的上方，結構緊湊，占地面積少

　　3參數

　　4應用范圍

　　廣泛應用在航天、航空、原子、石油、化工、制藥、電工、陶瓷、冶煉、新材料、真空熱處理、真空鍍膜等行業。滑閥真空機組具有顯著的節能效果，真空度高，高真空區間抽氣量大，可廣泛應用于電力工業的變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬、真空干燥工藝中。

　　是真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空濾油、冷凍干燥;航空模擬試驗較理想的真空設備。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉塵的氣體，應加裝過濾裝置。

　　5應用要點

　　滑閥泵雖然是一種老泵，但與旋片泵等比較，它具有允許工作壓力高"(104Pa)、抽氣量大、能在較惡劣環境下連續工作，經久耐用等突出優點，所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業得到廣泛的應用隨著真空應用范圍越來越廣泛，在真空干燥、真空浸漬、真空脫水、真空冶煉等行業用滑閥泵抽除氣體都含有大量水蒸汽。

　　如果在真空泵中不能及時排除，就會污染真空泵油，造成真空泵抽氣性能降低。盡管在泵上設置了氣鎮閥，認可降低泵的極限真空，用氣鎮方法抽除可凝性氣體，但對于真空干燥、脫水、煉泥等水蒸汽含量高的抽氣過程來說，用氣鎮方法并不理想，一般有以下方法可試用:

　　a滑閥泵與冷凝器配套使用。目前國內多數廠家采用這一方案。原理是將冷凝器串接在泵與被抽容器之間，把真空工藝設備中的大量水蒸汽用冷凝器捕捉成水，從而減少水蒸汽進入真空泵中的數量、降低泵油污染程度。如果適當調節冷凝器出口閥門流量和充分發揮真空泵上的氣鎮閥作用，可以取得較好的抽氣效果。

　　b變滑閥泵為熱泵。根據水的物理特性及相圖原理，可將滑閥式真空泵改成熱泵。這樣.可在較高泵腔溫度條件下，抽除大量可凝性水蒸汽。其工作原理如下：用一套自動溫度調節控制器，通過自動控制泵的冷卻水流量來達到控制泵腔溫度的目的。使得在抽氣過程中，泵腔的溫度始終控制在高于水的飽和蒸汽壓溫度，促使被抽氣體中的大量水蒸汽能順利排出。

　　為避免出現由于泵腔內溫度較高，泵長期工作可能會出現的泵油變稀、真空度下降、運轉零部件卡死等現象，在設計中可采用耐高溫的泵油如(N-62或N-68)和耐高溫軸承.加大運轉零部件的間隙等

　　羅茨真空泵

　　1結構形式

　　1、泵總體結構型式

　　羅茨真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。目前國內外的羅茨真空泵總體結構大致有三種型式：

　　2、泵的傳動方式

　　羅茨真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：

　　其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。

　　這種傳動方式的最大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便;b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。

　　另一種是電動機和傳動齒輪分別裝在轉子兩側。這種形式使泵的整體結構勻稱，但主動軸扭轉變形較大。為保證轉子在運轉過程中的間隙均勻，要求軸應有足夠的剛度，軸和轉子之間的聯接要緊固(目前已有轉子與軸焊或鑄成一體的結構)。這種結構拆裝都很方便，所以被廣泛采用。

　　3特征

　　啟動快，耗功少，運轉保護費用低，抽速大、效力高，對被抽氣體中所含的大批水蒸汽和灰塵不敏感，在100～1帕壓力規模內有較大抽氣速率，能敏捷消除忽然放出的氣體。

　　這個壓力規模恰益處于油封式機械真空泵與分散泵之間。因而，它常被串聯在分散泵與油封式機械真空泵之間，用來進步兩頭壓力規模的抽氣量。這時它又稱為機械增壓泵。

　　4應用

　　羅茨真空泵在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。

　　同時羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制，以及、食品、醫藥工業中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面。真空泵配件為用于真空泵噪聲治理的，真空泵消音器。

　　轉子外表為外形較為龐雜的曲線柱面，加工和檢討對比艱難。羅茨泵近幾年在海內外得到較快的開展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業得到了普遍的運用。

　　擴散泵

　　1性能參數

　　通常擴散泵的性能是以極限真空、最大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。

　　1.極限真空

　　如果對一般油擴散泵的結構進行改進，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進噴嘴角度設計，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴散泵性能大大改善，極限真空可達到更低的壓強。

　　2.最大反壓強

　　最大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強最大值。如果前級泵所產生的壓強高于最大反壓強，則擴散泵就不能正常工作。

　　3.抽氣速率

　　擴散泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算出來。

　　4.設置冷阱及低溫擋板的原因

　　由于擴散泵噴嘴噴出來的油蒸氣分子，大部分由泵壁冷凝，這是因為泵壁外設置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射，散射會返回被抽空間，這種現象在低溫實驗室中要特別注意。

　　如在擴散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫擋板，這樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來，截止了油蒸氣的返流。

　　2應用范圍

　　擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似,它們都是利用高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽氣的目的,所以擴散泵具有和水蒸汽噴射泵相似的特點。

　　不同點主要在于擴散泵工作在高真空區域,其工作壓強范圍為10-2～10-6pa。擴散泵廣泛用于電子、化工、冶金、機械、石油及原子能等工業部門中。

　　3影響因素

　　擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵，目前，擴散泵是最廣泛、最主要的獲得高真空的工具之一 。作為前級泵。高真空擴散泵主要由泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導流管、加熱器和冷卻器等組成。

　　分子泵

　　分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表面或泵體內表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞，提高泵的抽氣效果。

　　由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變，使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。

　　1工作條件

　　2特點

　　3其他常見應用

　　鈦升華泵

　　鈦升華泵是靠新鮮鈦膜的化學吸附作用抽氣的真空泵。

　　這種泵具有結構簡單、抽速大、無油污染、抗輻射和無振動噪聲等特點，啟動壓力為1～10-2帕，工作壓力范圍為10-2～10-8帕，是獲得無油超高真空的重要真空泵。

　　鈦升華泵可有三種類型，一種是單體泵，用法蘭與被抽容器聯接;另一種是升華器放入被抽容器中，被抽容器壁即為吸氣面;第三種是與其它泵組合，作成組合泵。無論哪種類型，都必須有吸氣面、升華器和控制器三部分。吸氣面主要是泵體或各種殼體，控制器屬于電控，升華器的種類較多，這里介紹幾種升華器的結構。

　　1、對升華器的要求：能提供所需要的鈦升華率;鈦升華率易于調節，可連續或間斷地供應吸氣劑;鈦升華器本身出氣少或易于去氣;要有足夠的工作壽命，即要有足夠的儲鈦量。

　　2、電阻加熱式升華器：直接通電加熱鈦絲。常用兩種結構。

　　1特性

　　極限壓強：可達10-10Pa。

　　抽速：鈦升華泵的抽速較大，新鮮鈦膜在液氮溫度下，對氮的抽速可達10.1L/cm2·s，對氫的抽速可達19.9L/cm2·s。鈦升華泵的抽速受很多因素影響，升華速率是決定其抽速的主要因素之一。若吸氣面足夠大，在一定壓強范圍內，升華速率高，則泵的抽速大。

　　當然膜沉積速率與排氣量要相稱，否則第一層鈦膜吸氣尚未飽和，第二層又覆蓋上去，即使升華率高，抽速也增大不了多少。為了維持恒定的抽速，減少鈦的消耗，需要對升華速率進行調節。當真空度高時要把升華速率降低。吸氣面也是決定泵性能的重要因素之一。吸氣面越大，泵的抽速越大。但泵口流導限制了泵的抽速。對室溫下空氣，泵口最大流導是11.7L/cm2·s。

　　2影響因素

　　鈦升華泵(Ti升華泵)的抽氣速率與被抽氣體的種類及其壓力、鈦的升華率、鈦膜面積和鈦膜溫度等因素有關。

　　在壓力高時，泵的抽速決定于升華率。為獲得大的抽氣速率，壓力越高升華率應越大，但在低壓力下太大的升華率是不必要的。在 10-7帕壓力時的升華率只有10-3帕時的1%即可。在超高真空時常采用斷續升華，如10-8帕時每隔幾小時才升華1分鐘。

　　經徹底烘烤去氣的泵，用水或液氮冷卻對極限壓力的影響不大，但對抽氣速率的影響很大。液氮冷卻的抽氣速率一般比水冷卻的大1～4倍。

　　3應用

　　鈦升華泵在電子器件、高能加速器、可控熱核反應裝置和空間模擬裝置，以及表面物理試驗等方面都得到廣泛的應用。鈦升華泵(TSP)可以有效抽除活性氣體H2、N2、CO等，適用于超高真空(UHV)系統。

　　4使用要求

　　啟動鈦升華泵需要1～10-2帕的預真空，同時進行烘烤去氣(泵每次暴露于大氣壓后都要進行烘烤去氣)。

　　泵啟動后泵壁不宜馬上冷卻，應讓升華的鈦在其上沉積幾分鐘后再冷卻，這樣鈦膜就不易脫落。

　　PS：其他不得不看的真空泵選型策略

　　真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。

　　因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到最佳配置，選擇真空系統時，應考慮下述各點：

　　1、真空泵的極限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個數量級。

　　2、每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。

　　3、真空泵在其工作壓力下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

　　4、選擇真空機組：

　　5、當您選擇油封泵時，您應該首先了解您的真空系統是否對油污染有要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施,如加冷阱、擋油阱、擋板等，也能達到清潔真空要求。

　　6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

　　7、當選擇油封真空泵時，要考慮真空泵排出來的油蒸汽(油煙)對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，應該選無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。

　　8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響，若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

　　9、真空泵的價格、運轉及維修費用。

　　在考慮到了各種情況后，才能最后確定一個適應于您的解決方案：

　　真空泵最佳工作范圍：